• 2021-03-17 09:25:17
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  • ASML已经成为了全球第一大光刻机厂商,并且最顶尖的EUV光刻机更是独家独占。

    日前与媒体沟通时,ASML技术开发副总裁Tony Yen确认了此前痛经怎么办缓解疼痛外界的猜想,他表明EUV光刻机现在有三大客户,分别是台积电、三星和Intel。

    至于相同制作光刻机的日本佳能、尼康为安在EUV上掉队,Yen指出, 咱们从2000年左右开发EUV,并决议大批量出产这种光刻机。

    日本人没有这么做,由于他们觉得体系太杂乱。实际上,咱们其时也不是100%坚信EUV光刻时机成功。

    当然,Yen说到,EUV光刻机的成功还有蔡司、Cymer(已被ASML收买)等企业参加,其间蔡司独家向ASML出售半导体相关的曝光产品。

    据官方发表的数据,上一年全球光刻机总出售量为413台,其间ASML出售258台占比62%,佳能出售122台占比30%,尼康出售33台占比8%。从光刻机类型来看,尼康出货的主要是ArF immersion、ArF dry,佳能主要是KrF、i-line(比例69%)。

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